L'environnement de production pour dispositifs semi-conducteurs est extrêmement sensible à la présence de contaminants. Même de faibles quantités de contaminants gazeux ou particulaires peuvent réduire la qualité du produit. Par conséquent, les exigences de propreté dans la fabrication des dispositifs semi-conducteurs sont bien plus élevées que dans d'autres secteurs. Tout au long du processus de fabrication des puces et des dispositifs semi-conducteurs, la maîtrise de la contamination de l'environnement de production est essentielle. La propreté de l'air des procédés principaux doit être conforme à la norme ISO Classe 1, avec des concentrations de contaminants moléculaires gazeux (AMC) inférieures à une partie par milliard. Des environnements de production non conformes peuvent entraîner une réduction significative du rendement. L'air ambiant contient de nombreux polluants particulaires tels que des microparticules et de la poussière, ainsi que des polluants gazeux comme le dioxyde de soufre, les oxydes d'azote et l'ammoniac. Ce n'est qu'après traitement qu'il peut être réintroduit dans un environnement contrôlé. salle blanche. Étant donné que les salles blanches utilisées pour la production de semi-conducteurs et autres dispositifs microélectroniques doivent maintenir des niveaux de propreté standard 24 heures sur 24 et 7 jours sur 7, le système de climatisation de la salle blanche (y compris le système d'évacuation), ses sources de chaleur et de froid associées et les systèmes de distribution correspondants doivent fonctionner 24 heures sur 24, ce qui est très différent des autres systèmes de climatisation conventionnels. En tant que source d'énergie, le ventilateur consomme la majeure partie de son énergie en raison de la résistance combinée de ses composants. De plus, filtre à airLa résistance du ventilateur représente environ 50 % de sa hauteur manométrique totale. Par conséquent, réduire la consommation énergétique des filtres de climatisation est crucial pour diminuer la consommation d'énergie des bâtiments et les émissions de carbone. Dans une optique d'amélioration de l'efficacité énergétique et de réduction de la consommation d'énergie, il est essentiel d'optimiser les performances des filtres à air sans compromettre les exigences de filtration. La consommation énergétique des filtres est directement liée à leur résistance moyenne, elle-même fonction de leur résistance initiale et de leur capacité de rétention des poussières. Réduire la résistance initiale, augmenter la capacité de rétention des poussières et minimiser l'augmentation de la résistance pendant la filtration sont des moyens efficaces de réduire la consommation énergétique, ce qui permet de diminuer les coûts pour les clients et de contribuer à la protection de l'environnement.
Les filtres à air sont des purificateurs d'air fonctionnant par filtration. Filtre HEPA on entend souvent parler de stands pour Filtre à air à particules haute efficacité. Décomposons les cinq principes fondamentaux de la filtration de l'air pour vous aider à comprendre sa logique sous-jacente. 1. Effet d'interception : Les fibres d'un filtre sont agencées de manière complexe. Lorsque des particules de poussière en suspension dans l'air entrent en contact avec la surface des fibres du filtre, elles sont directement piégées si elles sont suffisamment proches du matériau filtrant. Ce phénomène est particulièrement marqué dans les matériaux filtrants denses, tels que la structure en maille tridimensionnelle formée par les fibres ultrafines du tissu meltblown utilisé pour les masques, qui peut retenir efficacement les aérosols viraux dans les interstices des fibres. 2. Effet d'inertie : La disposition complexe des fibres filtrantes d'un filtre à air provoque des obstacles et une déviation du flux d'air lors de sa traversée du matériau filtrant. Sous l'effet des forces d'inertie, les particules de poussière en suspension dans l'air s'écartent du flux et entrent en collision avec la surface des fibres filtrantes, où elles se déposent. Plus la particule est grosse, plus la force d'inertie est importante, plus la probabilité qu'elle soit bloquée par les fibres filtrantes est élevée et meilleure est l'efficacité de la filtration. 3. Effet de diffusion : L’effet de diffusion cible les particules ultrafines de moins de 0,1 micromètre. Ces particules, animées principalement d’un mouvement brownien et présentant une trajectoire désordonnée, augmentent considérablement la probabilité de contact avec les fibres filtrantes ; plus la particule est petite, plus elle est facile à éliminer. 4. Effet de gravité : Lorsque la vitesse du flux d’air est inférieure à la vitesse de sédimentation des particules, les particules les plus grosses se déposent naturellement sous l’effet de la gravité. Dans les tours de traitement des fumées des centrales thermiques, l’espace est agrandi et la vitesse du flux est réduite, ce qui permet aux poussières de tomber dans la trémie de dépoussiérage, à la manière du sable qui se dépose au fond de l’eau. Ce mécanisme est économique et efficace pour le traitement des fortes concentrations de poussières, mais son efficacité sur les particules en suspension est limitée ; il est donc généralement utilisé comme méthode de prétraitement. 5. Effet électrostatique : La technologie des électrets électrostatiques charge les fibres, conférant au matériau filtrant la capacité de capturer activement les particules de charge opposée, à l’instar d’un aimant qui attire la limaille de fer. Ce mécanisme est particulièrement efficace pour les particules chargées présentes dans les PM2,5, et les équipements industriels de dépoussiérage effectuent un traitement électrostatique sur la surface du filtre.
Les salles blanches imposent des exigences strictes aux systèmes de ventilation. Ces derniers doivent assurer un débit et une pression d'air suffisants, tout en contrôlant précisément la température et l'humidité, afin de garantir une qualité d'air constante. Ces exigences s'appliquent à différents types de flux d'air et à différentes dimensions de salles. De nombreux procédés de production exigent des conditions de salle blanche, car ces dernières, voire les salles ultra-blanches, garantissent la qualité environnementale des produits lors de processus de fabrication rigoureux. Même des impuretés infimes dans l'air peuvent nuire aux procédés de production et entraîner des taux de rebut élevés. Par exemple, les environnements de production dans des domaines tels que l'optique et les lasers, l'aérospatiale, les biosciences, la recherche et les traitements médicaux, l'agroalimentaire et l'industrie pharmaceutique, ainsi que les nanotechnologies, requièrent un apport d'air quasi exempt de poussière et de bactéries. Cependant, la climatisation et systèmes de ventilation dans les salles blanches Les ventilateurs consomment une quantité importante d'énergie en raison de leurs taux de renouvellement d'air élevés, ce qui rend l'efficacité énergétique et le coût essentiels. Par conséquent, outre les exigences de performance aérodynamique, ils doivent également répondre à des normes clés telles que la compacité, le faible niveau sonore, l'utilisation de matériaux compatibles avec les salles blanches, des capacités de contrôle adéquates, la connectivité réseau et un fonctionnement écoénergétique. Les unités de ventilation à flux laminaire (FFU) sont conçues spécifiquement pour répondre à ces besoins. Elles améliorent efficacement la ventilation dans les salles blanches, garantissant ainsi la stabilité de l'environnement de production et la qualité des produits. Un FFU est un appareil qui combine astucieusement un système de filtration et un ventilateur. Conçu pour une installation au plafond, il est compact, performant et nécessite un espace minimal. Le FFU comprend des préfiltres et des filtres haute efficacité. L'air est aspiré par le haut par le ventilateur, finement filtré, puis diffusé uniformément à une vitesse de 0,45 m/s ± 20 %. Les unités de filtration sur membrane (FFU) jouent un rôle crucial dans les salles blanches, les postes de travail à flux laminaire, les lignes de production propres, les salles blanches modulaires et les environnements de classe 100 localisés. Ces applications couvrent la fabrication de semi-conducteurs, d'électronique, d'écrans plats et de disques durs, ainsi que l'optique, la biomédecine et la fabrication de précision – des secteurs soumis à des exigences strictes en matière de contrôle de la pollution atmosphérique. La flexibilité et la simplicité d'utilisation du FFU : grâce à sa conception modulaire et autonome, le FFU simplifie le remplacement, l'installation et le déplacement. Ses filtres compatibles sont faciles à remplacer, quel que soit leur emplacement, et parfaitement adaptés aux besoins de contrôle par zones des salles blanches. Le FFU peut être facilement remplacé ou déplacé pour s'adapter aux différents environnements de propreté. De plus, il permet de créer facilement des postes de travail, des cabines, des sas de transfert et des armoires de stockage propres pour répondre à diverses exigences de propreté. Son installation au plafond, notamment dans les grandes salles blanches, réduit considérablement les coûts de construction. Technologie de ventilation à pression négative : La conception unique du système de ventilation à pression négative de l’unité de filtration à ventilateur FFU lui permet d’atteindre facilement un haut niveau de propreté dans divers environnements. Son fonctionnement autonome maintient une pression positive à l’intérieur de la salle blanche, empêchant efficacement l’infiltration de particules extérieures et assurant une étanchéité sûre et pratique. Fonctionnement silencieux : Unité de filtration pour ventilateur FFU Il se distingue par un fonctionnement extrêmement silencieux, conservant un faible niveau sonore même lors d'une utilisation prolongée. Ses vibrations sont très faibles, assurant une régulation de vitesse progressive et fluide ainsi qu'une distribution uniforme du flux d'air, contribuant ainsi à un environnement propre et stable. Unités d'alimentation en air pour salles blanches * Construction rapide : grâce à la technologie FFU, la fabrication et l’installation des conduits ne sont plus nécessaires, ce qui raccourcit considérablement le cycle de construction. * Réduction des coûts d'exploitation : L'alimentation en air pur des salles blanches grâce à la technologie FFU est non seulement économique, mais aussi remarquablement écoénergétique. Bien que l'investissement initial pour une FFU puisse être légèrement supérieur à celui d'une ventilation par conduits, son fonctionnement sans entretien sur le long terme réduit considérablement les coûts d'exploitation globaux. * Gain de place : Comparés à d'autres systèmes, les systèmes FFU occupent moins de hauteur au sol dans la chambre de distribution et n'occupent pratiquement aucun espace dans la salle blanche. * Large applicabilité : Les systèmes FFU s’adaptent aux salles blanches et aux microenvironnements de tailles et d’exigences de propreté variées, en fournissant un air pur de haute qualité. Lors de la construction ou de la rénovation de salles blanches, ils améliorent non seulement la propreté, mais réduisent aussi efficacement le bruit et les vibrations. Applications des systèmes FFU dans les ateliers de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs : Les systèmes FFU sont largement utilisés dans les salles blanches exigeant des niveaux de purification d'air ISO 1 à 4. Ils jouent un rôle crucial, notamment dans les opérations à flux laminaire vertical des ateliers de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs. Dans la mezzanine technique, l'air est efficacement acheminé vers la zone de production propre via le système FFU. Ce flux d'air traverse ensuite des planchers techniques surélevés et des ouvertures dans les dalles alvéolées, pour atteindre la mezzanine technique inférieure propre. Enfin, après traitement par les serpentins de refroidissement à sec (DCC) dans le conduit de retour d'air, l'air retourne à la mezzanine technique supérieure, formant ainsi un cycle. Cette conception permet un contrôle rigoureux de l'environnement de production dans l'atelier de fabrication de plaquettes, notamment en ce qui concerne la température, l'humidité, la propreté et l'amortissement des vibrations. Par ailleurs, l'utilisation des systèmes FFU dans les laboratoires de biologie est également importante. Lorsque le personnel de laboratoire manipule des micro-organismes pathogènes, du matériel expérimental contenant des micro-organismes pathogènes ou des parasites, les systèmes FFU imposent des exigences particulières en matière de conception et de construction du laboratoire afin de garantir la sécurité des expériences et un environnement exempt de pollution. Les systèmes de purification d'air de laboratoire actuels se composent généralement de plusieurs éléments : une couche de pression statique, une couche de traitement, une couche auxiliaire de traitement et une gaine de reprise d'air. Ce système repose principalement sur une unité de traitement de l'air (FFU). Son principe de fonctionnement est le suivant : la FFU assure la circulation nécessaire en mélangeant l'air frais à l'air recyclé, lequel est ensuite acheminé vers les couches de traitement et auxiliaire après filtration à ultra-haute efficacité. Parallèlement, le maintien d'une dépression entre la couche de pression statique et la couche de traitement permet de prévenir efficacement les fuites de substances nocives, garantissant ainsi la propreté et la sécurité de l'environnement du laboratoire.
La percée technologique dans le domaine de la culture de tissus d'hévéa accélère la modernisation de l'agriculture. Cette technologie innovante, développée par l'Institut de recherche sur le caoutchouc de l'Académie chinoise des sciences agricoles tropicales, repose sur l'embryogenèse somatique et le bouturage. Elle permet une multiplication efficace et une amélioration de la qualité des jeunes plants d'hévéa, insufflant ainsi un nouvel élan à l'industrie de la culture de tissus végétaux. Cependant, la culture de tissus végétaux exige un environnement de croissance extrêmement rigoureux, nécessitant des conditions de laboratoire d'une propreté irréprochable pour garantir une croissance stérile. Les équipements de purification d'air classiques ne répondent souvent pas aux exigences strictes de contrôle des particules et des micro-organismes, ce qui accroît les risques de contamination et affecte le taux de survie et la qualité des plantules issues de culture in vitro. Par conséquent, la modernisation des équipements de purification de l'air est devenue cruciale pour le développement de la technologie de culture tissulaire. Forte de 20 ans d'expérience dans les technologies de purification de l'air, KLC, grâce à sa technologie innovante et à sa conception professionnelle, offre un soutien complet en matière d'environnement propre pour la culture de tissus d'hévéa. Ensemble, ils ont mis au point un système de purification de l'air efficace, intelligent et facile d'entretien, assurant une protection optimale de l'environnement de croissance des plantes cultivées. Purification à grande échelle, garantissant une croissance stérileFiltres à air HEPA de KLCGrâce à leurs performances de filtration exceptionnelles, ces appareils garantissent une pureté de l'air optimale dans les laboratoires de culture tissulaire. Leur filtration haute performance assure la croissance des plantules en culture tissulaire dans des conditions stériles, réduisant ainsi les risques de contamination. La purification continue de l'air couvre l'ensemble de l'espace, garantissant une purification homogène et un fonctionnement stable dans toutes les zones du laboratoire. Ceci assure un fonctionnement sans pollution tout au long du processus de culture tissulaire et garantit le fonctionnement continu et stable d'une vaste zone propre. Protection par douche d'air, bloquant l'invasion de contaminantsLes sas de décontamination KLC sont utilisés pour le transfert de matériel, garantissant ainsi un nettoyage à l'air comprimé avant l'entrée en laboratoire afin d'éliminer les contaminants de surface. Ceci empêche efficacement la pénétration de contaminants externes dans le laboratoire via le matériel, protégeant ainsi l'environnement de croissance des plantules issues de culture in vitro. Propreté horizontale, protection des opérations stérilesCertains procédés de culture de tissus végétaux exigent une enceinte à flux laminaire de haute pureté pour garantir la stérilité. L'enceinte à flux laminaire horizontal KLC assure un flux d'air propre horizontal, garantissant ainsi la pureté de l'air dans la zone de travail. Elle offre un environnement de travail stérile pour des opérations telles que l'inoculation et la culture de plantules d'hévéa issues de culture in vitro. Couverture par flux laminaire, garantissant précisément un espace stérileLa culture de tissus végétaux exige une propreté extrême dans les zones de travail localisées, notamment pour certaines opérations expérimentales de haute précision. Les hottes à flux laminaire KLC, grâce à leur conception précise, garantissent un environnement d'air extrêmement pur dans ces zones spécifiques.Leur flux d'air laminaire vertical ou horizontal élimine efficacement les contaminants localisés, garantissant des conditions stériles dans les zones critiques. Que ce soit pour l'inoculation, la culture ou d'autres opérations délicates, les hottes à flux laminaire KLC assurent une propreté optimale pour la croissance des cultures cellulaires, facilitant ainsi le bon déroulement des procédures expérimentales. Solutions de purification de l'air de KLC KLC fournit un air pur de haute qualité pour la culture de tissus végétaux et soutient activement le développement des technologies agricoles modernes. L'entreprise s'engage à proposer des solutions de purification d'air sur mesure aux laboratoires de culture de tissus, aux instituts de recherche et aux entreprises agricoles, contribuant ainsi à l'avancement de cette technologie.