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Le système de filtration de la salle blanche des semi-conducteurs est un équipement clé pour maintenir l’environnement interne de l’atelier propre et sans poussière. Afin de garantir le fonctionnement efficace du système de filtration et de prolonger sa durée de vie, nous devons prendre une série de mesures de maintenance et d'entretien.

Nettoyez régulièrement le filtre : le filtre dans la salle blanche pour semi-conducteurs est le composant essentiel pour garantir la propreté de l'air. Par conséquent, le filtre doit être nettoyé ou remplacé régulièrement pour éviter que la poussière et les particules n'obstruent le matériau filtrant et n'affectent son effet filtrant. Lors du nettoyage du filtre, des produits de nettoyage et des outils spéciaux doivent être utilisés pour éviter d'endommager le matériau du filtre.

Vérifiez régulièrement le système d'échappement :

L'état de fonctionnement du système d'échappement affecte directement la qualité de l'air dans la salle blanche. Le système d'échappement doit être vérifié régulièrement pour garantir son fonctionnement normal et sa ventilation fluide. Le contenu de l'inspection comprend des composants tels que des ventilateurs, des conduits d'air et des ports d'échappement. Si des dommages ou une panne sont constatés, ils doivent être réparés ou remplacés à temps.

Surveiller la qualité de l’air :

En installant un équipement de surveillance de la qualité de l'air, la qualité de l'air dans la salle blanche des semi-conducteurs peut être surveillée en temps réel, les problèmes de qualité de l'air peuvent être découverts à temps et les mesures correspondantes peuvent être prises. Par exemple, lorsque la concentration de particules dans l'air dépasse la valeur définie, le filtre de veille peut être démarré ou le nombre de nettoyages peut être augmenté pour réduire la concentration de particules.

Remplacez régulièrement les consommables et accessoires :

Les consommables et accessoires dans les salles blanches pour semi-conducteurs, tels que les casquettes et gants chirurgicaux, doivent être remplacés régulièrement pour garantir leur propreté et leur effet filtrant. Lors du remplacement des consommables et des accessoires, vous devez veiller à sélectionner des produits qui répondent aux exigences et les remplacer conformément aux procédures opérationnelles prescrites.

Opérateurs ferroviaires :

Les opérateurs des salles blanches pour semi-conducteurs doivent recevoir une formation systématique pour comprendre les principes, les méthodes de fonctionnement et de maintenance du système de filtration et améliorer leurs compétences opérationnelles et leur sensibilisation à la sécurité. Grâce à la formation, les opérateurs peuvent mieux comprendre l'état de fonctionnement du système de filtration et trouver et résoudre les problèmes en temps opportun.

Élaborer un plan de maintenance :

Selon la situation réelle de la salle blanche des semi-conducteurs, élaborez un plan de maintenance détaillé pour le système de filtration, comprenant le cycle de nettoyage, le cycle d'inspection, le cycle de remplacement, etc. La maintenance selon le plan peut garantir le fonctionnement stable à long terme et l'effet filtrant de le système de filtration.

Registres et journaux de maintenance :

Établissez des dossiers de maintenance et des journaux de maintenance pour le système de filtration, et enregistrez l'heure, le contenu, le personnel et d'autres informations de chaque maintenance. En analysant les dossiers de maintenance et les journaux de maintenance, vous pouvez comprendre l'état de fonctionnement et les problèmes existants du système de filtration, et fournir une référence pour la maintenance et l'amélioration ultérieures.

En bref, une maintenance efficace du système de filtration de la salle blanche pour semi-conducteurs nécessite une prise en compte approfondie de plusieurs aspects, notamment le nettoyage, l'inspection, la surveillance, le remplacement, la formation, la planification et la tenue des registres. Grâce à des mesures de maintenance complètes, le fonctionnement stable à long terme et l'effet de filtration du système de filtration peuvent être assurés, garantissant ainsi la qualité et la propreté de l'air dans la salle blanche.