Normes de salles blanches pour les ateliers de fabrication de puces dans l'industrie des semi-conducteurs
Normes de salles blanches pour les ateliers de fabrication de puces dans l'industrie des semi-conducteurs
June 06, 2024
1. Normes de qualité pour les salles blanches
Les catégories de salles blanches sont généralement divisées en fonction du nombre et de la taille des particules autorisées dans l'air. Au niveau international, la norme ISO 14644 est généralement utilisée pour la classification des qualités. Selon cette norme, les grades des salles blanches vont de haut à bas : ISO 1-9.
Il convient de noter que les normes des salles blanches peuvent varier en fonction de l’industrie et de l’application spécifiques. Dans la production de puces semi-conductrices, les normes des salles blanches sont généralement plus strictes pour garantir que la qualité et les performances des puces produites répondent aux attentes.
Les niveaux de salle blanche peuvent être divisés en : Classe 1 > Classe 10 > Classe 100 > Classe 1000 > Classe 10000 > Classe 100000 > Classe 300000.
Les salles blanches de classe 1 sont principalement utilisées dans l'industrie microélectronique pour la fabrication de circuits intégrés, et les exigences de précision pour les circuits intégrés sont submicroniques.
Les salles blanches de classe 10 sont principalement utilisées dans l’industrie des semi-conducteurs avec une bande passante inférieure à 2 microns.
La propreté de classe 100 est largement applicable et peut répondre aux besoins de propreté de la plupart des industries. Il peut être utilisé pour la technologie de fabrication aseptique dans l’industrie pharmaceutique. Cette salle blanche peut être utilisée en chirurgie pour la fabrication de transplants et d'intégrateurs, ainsi que pour le traitement d'isolement de patients particulièrement sensibles aux infections bactériennes.
Les salles blanches de classe 1000 sont principalement utilisées pour la production de produits d'optique fine, et sont également utilisées pour les tests, l'assemblage de gyroscopes d'avion, l'assemblage de micro-roulements fins, etc.
Les salles blanches de classe 10 000 peuvent être utilisées pour l’assemblage d’équipements hydrauliques ou pneumatiques et, dans certains cas, sont également utilisées dans l’industrie agroalimentaire. De plus, les salles blanches de classe 10 000 sont également largement utilisées dans l’industrie médicale.
La concentration admissible de particules de 0,5 um dans une salle blanche de classe 1000 est inférieure à 35 200 (pc/m3) et la concentration admissible de particules de 5 um est inférieure à 293 (pc/m3). 2. La concentration admissible de particules de 0,5 um dans une salle blanche de classe 10 000 est inférieure à 352 000 (pc/m3) et la concentration admissible de particules de 5 um est inférieure à 2930 (pc/m3).
Considérations de sécurité
La décoration des salles blanches pour semi-conducteurs doit répondre à des exigences de sécurité. D'une manière générale, il existe un grand nombre de substances inflammables et explosives dans les salles blanches de semi-conducteurs, c'est pourquoi les réglementations nationales de sécurité pertinentes, telles que la prévention des incendies et des explosions, doivent être respectées lors de la décoration. En outre, la pollution de l'environnement ainsi que la santé et la sécurité du personnel doivent également être prises en compte pour garantir que les matériaux de décoration répondent aux normes nationales et ne nuisent pas à la santé humaine.
Système de traitement de l'air pour salle blanche
Les salles blanches de semi-conducteurs nécessitent des systèmes de traitement de l’air pour assurer la propreté de l’air dans l’atelier. Le système de traitement de l'air est principalement composé de filtres à air, de systèmes d'alimentation en air, de systèmes de retour d'air et de systèmes d'échappement. Parmi eux, les filtres à air sont un élément important qui peut éliminer efficacement les particules et les micro-organismes présents dans l’air.
Décoration de sol, mur et plafond
Dans la décoration des salles blanches de semi-conducteurs, la décoration des sols, des murs et des plafonds est très importante car ces zones sont sensibles à la pollution. Le sol doit être constitué de matériaux résistants à l'usure, antistatiques et faciles à nettoyer, tels qu'un sol autonivelant époxy ou un sol en plastique PVC ; les murs et les plafonds doivent être constitués de matériaux résistants à la corrosion, antistatiques et faciles à nettoyer, tels que des plaques d'aluminium, des plaques d'acier inoxydable, des murs-rideaux en verre, etc.
Disposition des équipements électriques tels que les lampes et les prises
Dans la décoration des salles blanches pour semi-conducteurs, la disposition des lampes et des prises est également très importante. Afin d'empêcher les polluants tels que la poussière et les micro-organismes de pénétrer dans l'atelier, ces dispositifs doivent être installés au plafond ou au-dessus de la hauteur du mur, et des matériaux antistatiques et non poudrés doivent être sélectionnés.
Portes, fenêtres, établis propres et autres installations
Lors de la décoration des salles blanches pour semi-conducteurs, les portes, fenêtres, établis propres et autres installations nécessitent également une attention particulière. Les portes et fenêtres doivent être fabriquées dans des matériaux offrant de bonnes performances d'étanchéité et faciles à nettoyer, comme les portes et fenêtres en acier inoxydable ; les établis propres doivent être fabriqués à partir de matériaux qui ne libèrent pas de poudre, de particules de scories, qui sont résistants à la corrosion et faciles à nettoyer, comme les établis en acier inoxydable.