Nouvelles

Avec le développement rapide de l'industrie électronique, l'industrie électronique a des exigences de plus en plus strictes en matière d'environnement et de projets qui la soutiennent. En tant qu'élément important de l'usine électronique, le système de climatisation doit non seulement contrôler de manière stable la température, l'humidité et la propreté intérieures, mais doit également prendre en compte la consommation d'énergie du climatiseur de purification. Par conséquent, les usines propres à grande échelle adoptent généralement une solution système MAU+DC+FFU plus économe en énergie.

1. Introduction au système MAU+FFU+DCC

UAM : Unité d'air d'appoint, boîtier de climatisation d'air frais

Principalement responsable du contrôle de l’humidité

FFU : Unité de filtre de ventilateur Unité de filtre de ventilateur

Principalement responsable du contrôle de la propreté

CDC : Serpentin de refroidissement à sec

Principalement responsable du contrôle de la température

Le système de climatisation MAU+FFU+DCC est principalement utilisé dans les ateliers électroniques propres avec des exigences de propreté élevées (niveau mille ou plus). Dans l'industrie chinoise de la microélectronique (circuit intégré), de l'optoélectronique (TFT-LCD, LCD, LED, etc.) et d'autres grandes industries, elle est largement utilisée dans les ateliers propres avec une grande surface et un niveau de propreté élevé. Il présente les avantages d'un ajustement facile, d'économies d'énergie significatives, d'une adaptabilité à la mise à niveau technologique et d'une économie considérable de zone de non-production et d'espace de non-production.

Le schéma de principe du système MAU+FFU+DCC est le suivant :

La boîte de climatisation fraîche traite l'air frais en dessous de l'intersection de la ligne de rapport de chaleur et d'humidité et de la ligne d'humidité relative de 95 % de la salle blanche. L'unité d'air frais doit non seulement éliminer sa propre charge humide, mais doit également supporter la charge humide générée dans la salle blanche pour garantir que l'humidité relative de la salle blanche répond aux exigences. La charge de refroidissement sec insuffisamment traitée par l'unité d'air neuf peut être complétée par la batterie sèche située dans la mezzanine inférieure ou au plafond de la salle blanche. Étant donné que le serpentin sec est situé dans le plafond ou dans l'allée à travers laquelle passe l'air en circulation FFU, la charge de refroidissement sèche fournie par le serpentin sec sera amenée dans la salle blanche par l'air en circulation.

Avantages du système de climatisation propre MAU+FFU+DCC

(1) Haute flexibilité et taux de couverture élevé. La flexibilité d’un système de climatisation propre est très importante pour les usines électroniques. Si la propreté de l'atelier doit être ajustée au niveau régional en raison de changements de processus, la propreté de la zone locale peut être modifiée en modifiant le volume d'air FFU ou en remplaçant la plaque aveugle. En cas de disposition dense, le taux de couverture peut atteindre 85,5 %.

（2）Le plafond supérieur du FFU est à pression négative, ce qui peut jouer un rôle d'étanchéité. Le plafond est à pression négative et la pression de l'air dans la salle blanche est supérieure à l'espace dans le plafond. S'il y a un espace entre le FFU et le support, la pression négative dans le plafond empêche l'air qui n'a pas été efficacement filtré de pénétrer dans la pièce, ce qui est bénéfique pour assurer la propreté de la salle blanche.

(3) La résistance du système de flux d'air est faible et la vitesse du vent à la sortie d'air est faible.

（4）L'équipement a une faible consommation d'énergie. Après avoir adopté FFU, il n'est pas nécessaire d'ajouter un ventilateur d'appoint. Le ventilateur est décomposé en plusieurs parties et il n’est pas nécessaire de disposer d’une salle des machines dédiée. Dans le même temps, la résistance du pipeline d'alimentation en air est éliminée.

Application d'atelier propre pour les semi-conducteurs : par exemple, la superficie du bâtiment est d'environ 6 800㎡, dont les zones propres de classe 100 et de classe 1000 sont d'environ 3 000㎡. La zone de production propre adopte la forme de climatisation de MAU (unité de traitement d'air frais) + FFU (unité de filtre à ventilateur) + DCC (serpentin de refroidissement sec). L'air en circulation dans la zone de production traverse le plancher surélevé depuis la mezzanine technique inférieure jusqu'à la mezzanine technique supérieure en passant par le canal d'air de reprise et la batterie sèche, puis est envoyé vers la zone de production propre à travers l'unité de filtration du ventilateur. L'air circulant traité doit garantir que la salle blanche de la zone correspondante maintient le niveau de propreté et la température uniformes requis.

Le système d'air frais (MAU) utilise le lavage à l'eau, le refroidissement et la déshumidification, la filtration ou le chauffage, l'humidification et la filtration pour compléter les gaz d'échappement du processus dans la salle blanche avec de l'air frais propre et maintenir une pression positive. L'unité de climatisation à air frais avec paramètres de température et d'humidité fixes se compose d'une section d'admission d'air, d'une section de filtre primaire de type plaque G4 et d'une section de filtre à efficacité moyenne de type sac F9.

Pour les FFU, le nombre de FFU requis pour chaque zone est calculé en fonction des exigences de propreté et des spécifications FFU retenues pour l'aménagement. En tant qu'équipement de purification principal dans la salle blanche, il peut filtrer efficacement les particules et les impuretés dans l'air pour garantir que la qualité de l'air dans la salle blanche répond aux exigences de production. Sa fonction efficace de douche d'air peut purifier rapidement l'air et réduire l'impact de la poussière, des bactéries, etc. sur la qualité du produit.