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Salles blanches pour semi-conducteurs (principalement modèle FFU)

I. Exigences de propreté et méthodes de contrôle du flux d'air

Exigences élevées de propreté locale : Les procédés tels que la photolithographie et la gravure dans la fabrication de semi-conducteurs exigent le maintien d’un niveau de propreté de classe 100 (ISO 5) ou même supérieur autour des équipements. Grâce à une conception modulaire, l’unité de filtration à ventilateur (FFU) crée un flux d’air unidirectionnel stable (0,25 à 0,35 m/s) dans les zones critiques, en couvrant directement la surface de fonctionnement de l’équipement.

Flexibilité: Les FFU (unités de filtration à ventilateur) permettent un ajustement rapide des zones propres locales, s'adaptant aux mises à jour des équipements ou aux changements de la ligne de production sans modifier l'ensemble du système d'alimentation en air.

Gestion de la charge thermique : les équipements pour semi-conducteurs génèrent une chaleur importante. L’alimentation en air décentralisée des unités de ventilation et de filtration (FFU) optimise la dissipation thermique locale, évitant ainsi les perturbations du flux d’air causées par les hausses de température dans les systèmes d’alimentation en air centralisés.

II. Consommation d'énergie et différences de coûts

Avantages en matière d'économie d'énergie : Les unités de filtration à ventilateur (FFU) utilisent des moteurs CC/EC avec un rendement atteignant 75 à 80 % et prennent en charge le réglage de la vitesse à la demande, ce qui entraîne une consommation d'énergie plus faible par unité de débit d'air par rapport aux systèmes centralisés.

Faibles coûts d'entretien : La conception modulaire simplifie le remplacement des filtres et le dépannage, réduisant ainsi les temps d'arrêt.

III. Caractéristiques de l'industrie et adaptation technologique

Dynamique des processus : Les mises à niveau fréquentes des lignes de production et les évolutions constantes des équipements exigent une adaptation rapide des salles blanches. La modularité des unités flexibles (FFU), permettant notamment l'ajout ou le retrait d'unités et la modification de l'agencement, présente des avantages par rapport aux systèmes fixes.

Contrôle de la micro-contamination : Les semi-conducteurs sont sensibles aux particules de 0,1 μm. Les filtres ULPA des unités de filtration frontale (efficacité de filtration ≥ 99,999 %) protègent efficacement les zones critiques.