Le rôle des unités de filtration à ventilation dans les salles blanches
Le rôle des unités de filtration à ventilation dans les salles blanches
January 09, 2026
Les exigences en matière de propreté varient selon l'usage prévu des salles blanches : classes 100, 1000, 10 000, 100 000, 300 000, voire supérieures. L'unité de filtration à ventilation forcée (FFU) a été développée pour répondre à ces exigences variables. Son apparition a permis de résoudre efficacement ce problème.
L'utilisation d'une unité de filtration à ventilateur (FFU) permet de résoudre efficacement les problèmes d'ingénierie des salles blanches.
Les principaux avantages sont :
1. Gain de place – L’utilisation d’une FFU (unité de filtration à ventilateur) permet de gagner de la place et de résoudre le problème de l’espace de maintenance limité au-dessus du plafond de la salle blanche.
Les salles blanches de haute sécurité nécessitent des hottes à flux laminaire de classe 100, voire de classe 10, pour répondre aux exigences des procédés. Cela implique la présence de grands plénums d'alimentation d'air au-dessus du plafond de la salle blanche, contenant des ventilateurs. Ces plénums, ainsi que les conduits d'alimentation et de reprise d'air, occupent un espace considérable, ce qui limite l'accès pour la maintenance et peut même parfois obstruer les issues de secours.
Lorsqu'on utilise des unités de filtration à ventilateur (FFU), le plafond de la salle blanche est divisé en plusieurs modules, chacun étant une FFU. Cela permet d'ajuster chaque module pour répondre aux exigences d'équilibre de pression du plénum d'alimentation d'air situé au-dessus du plafond, réduisant ainsi considérablement la hauteur requise de ce dernier. De plus, cela élimine le besoin de conduits d'alimentation et de reprise d'air de grande taille, optimisant ainsi l'espace d'installation. C'est particulièrement avantageux lors de rénovations où la hauteur sous plafond est limitée. Les FFU sont disponibles en différentes tailles et peuvent être personnalisées aux dimensions de la salle blanche. Comme elles occupent moins de hauteur dans le plénum d'alimentation d'air et quasiment aucun espace dans la salle blanche elle-même, elles permettent des gains d'espace considérables.
2. Flexibilité de l'unité de filtration à ventilateur (FFU) – La structure indépendante de la FFU (unité de filtration à ventilateur) permet un réglage facile, compensant le manque de flexibilité dans la conception des salles blanches et répondant aux limitations des processus de production fixes.
Les salles blanches sont généralement construites avec des panneaux métalliques et, une fois installées, leur agencement est difficilement modifiable. Cependant, en raison des évolutions constantes des procédés de production, l'agencement initial peut ne plus répondre aux besoins des nouveaux procédés, entraînant des modifications fréquentes et un gaspillage important de ressources et d'argent. En modulant le nombre d'unités de filtration frontale (FFU), l'agencement de la salle peut être ajusté localement pour s'adapter aux changements de procédé. Les FFU étant autonomes en énergie, en ventilation et en éclairage, des économies substantielles peuvent être réalisées. Ceci est quasiment impossible à obtenir avec les systèmes de purification d'air centralisés classiques.
Les unités de filtration frontale (FFU), étant autonomes en énergie, ne sont pas limitées par l'espace. Dans une grande salle blanche, leur contrôle peut être zoné selon les besoins. De plus, l'évolution des procédés de fabrication des semi-conducteurs nécessitera inévitablement des ajustements d'agencement d'usine. La flexibilité des FFU facilite ces ajustements et évite des investissements supplémentaires.
3. Réduction des coûts d'exploitation – Le système FFU (unité de filtration à ventilateur) est écoénergétique, surmontant ainsi les inconvénients des systèmes d'alimentation en air centralisés, tels que les grandes salles de climatisation et les coûts d'exploitation élevés des unités de climatisation.
Dans un grand complexe de salles blanches, si certaines salles blanches requièrent un niveau de propreté supérieur, un système de climatisation centralisé nécessitera un débit d'air et une pression de ventilation plus élevés pour compenser la résistance des conduits, des préfiltres, des filtres à moyenne efficacité et des filtres à haute efficacité. De plus, dans un système de ventilation centralisé, toute panne d'un climatiseur entraînera l'arrêt complet des salles blanches desservies.